레이저를 이용한 다결정 실리콘 태양전지의 선택적 도핑 연구

Title
레이저를 이용한 다결정 실리콘 태양전지의 선택적 도핑 연구
Other Titles
Selective Laser Doping of Phosphorous in a Multicrystalline Silicon Solar Cell
Author(s)
이종훈조영걸이광원[이광원]배상윤[배상윤]배소익[배소익]조영우[조영우]
Keywords
태양전지; 레이저 도핑; 다결정실리콘기판; Solar cell; Laser doping; Multicrystalline silicon
Issue Date
201102
Publisher
한국물리학회
Citation
새물리, v.61, no.2, pp.175 - 179
Abstract
태양전지의 효율을 증가시키기 위하여 레이저를 이용하여 실리콘 기판에 선택적으로 인을 도핑하였다. 펄스 Nd:YAG 녹색광 레이저의 세기를 다양하게 변화시키며 다결정 실리콘 기판에 홈을 파 선택적으로 도핑할 패턴을 만들었다. 형성된 패턴 위에 인산(H3PO4)을 도포하고 연속발진 레이저를 사용하여 표면을 열처리하여 도핑하였다. 레이저에 의하여 인이 도핑된 표면의 형상은 전자주사현미경(SEM)으로 관찰하였고, 표면에서의 깊이에 따라 인산이 도핑된 정도는 2차 이온 질량 분석기(SIMS)를 이용하여 분석하였다. 인산의 도핑에 의한 저항의 변화는 면저항 측정기로 측정하였다. 그 결과 인이 표면에서 200nm 이하까지 도핑이 되었음을 확인하였다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/25616
ISSN
0374-4914
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이과대학 > 물리학과 > Articles
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