태양전지용 단결정 실리콘 잉곳 생산성 증대를 위한 초크랄스키 공정 최적 설계

Title
태양전지용 단결정 실리콘 잉곳 생산성 증대를 위한 초크랄스키 공정 최적 설계
Other Titles
Optimal Design of Cz Process for Increasing a Productivity of Single Crystal Si Solar Cell Ingot
Author(s)
정재학이은국[이은국]
Keywords
Ingot; CGSim; CFD; Heater; Crucible Size; Solar Cell
Issue Date
201108
Publisher
한국화학공학회
Citation
Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK), v.49, no.4, pp.432 - 437
Abstract
최근 산업에서는 Czochralski(Cz) 공정에서 ingot의 생산성을 높이고 동시에 에너지 소비를 적절하게 할 수 있는 최적 설계가 요구되고 있다. 본 연구에서는 컴퓨터 시뮬레이션을 이용하여 현장에서 적용 가능한 설계 인자인 도가니(crucible) 크기, shield 모양, heater의 위치를 변동하면서 가장 최적의 생산성 및 전력 절감 설계를 찾아내는 연구를 수행하였다. 대상 공정은 직경 8 인치 태양전지용 ingot 생산 공정으로 생산성 증대를 위해 도가니 크기를 22인치에서24인치로 바꾸어 안정적 생산이 가능한 최적설계를 찾았다. 이때 산업에서 외형변화가 허용되지 않아 단열두께만 줄여 최적설계를 찾았다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/24700
ISSN
0304-128X
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