스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 박막의 두께에 따른 구조적 및 광학적 특성

Title
스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 박막의 두께에 따른 구조적 및 광학적 특성
Other Titles
Effects of Thickness on Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Fabricated by Spin Coating Method
Author(s)
김종수임광국[임광국]김민수[김민수]김군식[김군식]최현영[최현영]전수민[전수민]조민영[조민영]김형근[김형근]이동율[이동율]김진수[김진수]이주인[이주인]임재영[임재영]
Keywords
ZnO; Spin coating method; SEM; XRD; Photoluminescence; ZnO; 스핀코팅 방법; SEM; XRD; Photoluminescence
Issue Date
201007
Publisher
한국진공학회
Citation
한국진공학회지, v.19, no.4, pp.281 - 286
Abstract
스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 박막의 두께에 따른 구조적 및 광학적 특성에 관한 연구를 수행하였다. ZnO 박막의 두께가 두꺼워짐에 따라 줄무늬 모양의 폭과 밀도가 증가하고, 두께가 450 nm 일 때 줄무늬 모양은 사라지며 표면이 매끄러워졌다. ZnO 박막의 표면이 매끄러워졌을 때 orientation factor α(002)가 급격히 증가하였고, (002) 회절 피크의 FWHM (full width at half maximum)는 감소하였다. ZnO 박막의 NBE (near-band edge emission) 피크의 위치는 두께와 표면 형태의 영향을 거의 받지 않았으나, 매끄러운 표면을 갖는 ZnO 박막의 DLE (deep level emission) 피크의 위치는 청색편이 하였다. ZnO 박막의 두께가 증가함에 따라 DLE 피크에 대한 NBE 피크의 발광세기 비율이 증가하는 경향을 보였고, NBE 피크의 FWHM은 감소하는 경향을 보였다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/23904
ISSN
2288-6559
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이과대학 > 물리학과 > Articles
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