삼염화실란 정제공정에서의 분리벽형 증류탑 적용

Title
삼염화실란 정제공정에서의 분리벽형 증류탑 적용
Other Titles
Application of a Divided-Wall Column for the Trichlorosilane Refining Process
Author(s)
이문용홍승택[홍승택]
Keywords
Trichlorosilane; Refining process; Distillation process; Divided-wall column; 삼염화실란; 정제공정; 증류공정; 분리벽형 증류탑; Trichlorosilane; Refining process; Distillation process; Divided-wall column
Issue Date
201003
Publisher
한국청정기술학회
Citation
청정기술, v.16, no.1, pp.64 - 70
Abstract
본 연구에서는 상용 폴리실리콘 제조공정 중 삼염화실란 정제공정에 사용되는 증류탑에 대해 분리벽형 증류탑을 적용하는 방안을 제안하였다. 상용 전산모사 프로그램(HYSYS)을 통해 기존의 단순 증류탑을 사용한 정제공정과 분리벽형 증류탑으로 대체한 공정을 각각 전산모사 하여 같은 순도와 수율로 삼염화실리콘을 정제할 때 증류탑에서 소모되는 에너지와 투자비용 효과를 비교 분석하였다. 그 결과, 분리벽형 증류탑을 적용한 정제공정이 기존 정제공정에 비해 약 61%의 에너지 절감 효과와 58%의 투자비용 절감효과를 가지는 것으로 확인되었다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/22686
ISSN
1598-9712
Appears in Collections:
공과대학 > 화학공학부 > Articles
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE