CFR 법에 의한 산화아연 박막의 제조 및 황 화합물 검출을 위한 전기적 특성

Title
CFR 법에 의한 산화아연 박막의 제조 및 황 화합물 검출을 위한 전기적 특성
Other Titles
Preparation of Zinc Oxide Thin Film by CFR Method and its Electrical Property for Detection of Sulfur Compounds
Author(s)
이태진이선이박노국윤석훈
Keywords
Zinc Oxide; CFR Method; Gas Sensor
Issue Date
201004
Publisher
한국화학공학회
Citation
Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK), v.48, no.2, pp.218 - 223
Abstract
본 연구에서는 반도체식 가스센서 재료로서 활용 가능한 ZnO 박막을 Continuous Flow Reaction(CFR) 방법으로 실리콘 기판 위에 성장시켰다. 또한 전구물질로 사용한 zinc acetate의 농도에 따른 산화아연 박막의 성장특성과 이들의 전기적 특성이 조사되었다. 산화아연 박막 제조는 0.005~0.02M의 zinc acetate 농도에서 수행되었다. 산화아연 박막을 구성하고 있는 ZnO의 입자크기는 농도가 증가할수록 증가되었으며, 박막의 두께도 함께 증가되었다. CFR 법에 의한 산화아연박막의 성장속도는 전구물질의 농도에 비례적으로 의존되는 것을 확인하였으며, 균일한 박막을 제조하기 위한 전구물질의 최적 농도는 0.01 M이였다. 한편, 전구물질의 농도를 달리하여 제조된 산화아연 박막의 전압에 대한 전류를 I-V 측정기로 측정한 결과, 박막의 두께가 증가될수록 높은 전류가 흘렀다. 그러므로 산화아연 박막의 전류를 전구물질의 농도변화로 조절할 수 있다. 또한 산화아연 박막을 300 oC에서 5 min 동안 500 ppmv H2S에 노출시킨 결과, 전압에 대한 전류값이 낮아졌다. 이와 같이 산화아연의 전기적 특성은 가스센서로 응용할 수 있는 가능성을 확인시켜 주는 결과라 할 수 있다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/22560
ISSN
0304-128X
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공과대학 > 화학공학부 > Articles
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