태양전지 광흡수층 제조방법, 태양전지 광흡수층 및 태양전지

Title
태양전지 광흡수층 제조방법, 태양전지 광흡수층 및 태양전지
Author(s)
영남대학교 산학협력단전찬욱
Issue Date
20130610
Abstract
본 발명의 목적은 인체에 위해한 H2Se나 가격이 높은 DESe를 사용하지 않고 순수한 셀레늄 증기를 이용한 셀렌화 공정을 효율적으로 수행할 수 있는 태양전지 광흡수층 제조방법, 이러한 제조방법에 의해 제조된 태양전지 광흡수층 및 이를 포함하는 태양전지를 제공하는 것이다본 발명의 일 관점에 따르면, 기판 상에 금속전구체층을 증착하는 단계; 및 상기 금속전구체층 상에 셀레늄을 증착하는 단계;를 포함하고, 상기 각 단계들은, 상기 기판을 챔버 내에서 회전이송하면서 수행하는, 태양전지 광흡수층 제조방법이 제공된다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/22126
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공과대학 > 화학공학부 > Patents
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