원자층 증착법에 의한 루테늄 박막 형성 방법 및 그를 이용한 루테늄 박막

Title
원자층 증착법에 의한 루테늄 박막 형성 방법 및 그를 이용한 루테늄 박막
Author(s)
영남대학교 산학협력단김수현여승민
Issue Date
20130910
Abstract
원자층 증착법에 의한 루테늄 박막 형성 방법 및 그를 이용한 루테늄 박막이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 루테늄 박막의 형성 방법은, 챔버 내의 기판으로 루테늄(Ru) 함유 전구체를 공급하는 단계; 챔버로부터 루테늄(Ru) 함유 전구체를 퍼지하는 단계; 기판으로 반응 가스를 공급하는 단계; 및 챔버로부터 반응 가스를 퍼지하는 단계를 포함하고, 루테늄 함유 전구체는 상기 루테늄 함유 전구체는 C14H18Ru[(EthylBenzen)(CycloHexadiene)Ru, EBCHRu]이다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/22093
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공과대학 > 신소재공학부 > Patents
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