태양 전지 제조 장치

Title
태양 전지 제조 장치
Author(s)
영남대학교 산학협력단전찬욱
Issue Date
20140519
Abstract
본 발명은, 칼코겐화 반응성을 증가시켜 용이하여 광흡수층을 연속적으로 형성할 수 있는 태양 전지 제조 장치를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 태양 전지 제조 장치는, 대상체가 칼코겐화 반응되는 챔버; 및 대상체를 챔버로 이송하는 이송 수단;을 포함하고, 챔버의 내측에 위치하고, 로딩부에서 이송된 대상체 상에 칼코겐 소스를 위치시키고, 칼코겐 소스가 통과하는 크기를 가지는 미세 기공을 포함하는 미세 기공체 부재를 대상체와 칼코겐 소스 사이에 개재시키는 결합부; 챔버의 내측에 위치하고, 결합부에서 이송된 칼코겐 소스를 가열하여, 칼코겐 소스가 미세 기공체 부재의 미세 기공을 통하여 대상체에 도달하여 칼코겐화 반응함으로써, 칼코겐화된 대상체를 형성하는 칼코겐화 형성부; 및 챔버의 내측에 위치하고, 미세 기공체 부재를 칼코겐화된 대상체로부터 분리하는 분리부;를 포함하고, 이송 수단은 대상체를 대상체 로딩부, 결합부, 칼코겐화 형성부, 및 분리부에 순차적으로 이송한다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/22039
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공과대학 > 화학공학부 > Patents
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