연속흐름반응법을 이용한 화합물 태양전지용 CuInSe2 박막의 제조방법

Title
연속흐름반응법을 이용한 화합물 태양전지용 CuInSe2 박막의 제조방법
Author(s)
영남대학교 산학협력단류시옥김채린
Issue Date
20120129
Abstract
본 발명은 연속흐름반응법을 이용한 화합물 태양전지용 CuInSe2 박막의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 본 발명은 (i) 구리 공급원 및 인듐 공급원을 물에 용해시켜 스트림 A를 준비하는 단계; (ii) 셀레늄 공급원을 물에 용해시켜 스트림 B를 준비하는 단계; (iii) 상기 반응물 흐름 A와 반응물 흐름 B를 혼합한 후, 혼합물을 기판 상에 연속흐름반응법을 이용하여 증착시키는 단계; 및 (iv) 증착된 박막을 진공 또는 질소 분위기 하에서 열처리하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 연속흐름반응법을 이용한 화합물 태양전지용 CuInSe2 박막의 제조방법에 관한 것이다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/22000
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공과대학 > 화학공학부 > Patents
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