연속흐름반응법을 이용한 화합물 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법

Title
연속흐름반응법을 이용한 화합물 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법
Author(s)
영남대학교 산학협력단류시옥박미선
Issue Date
20120202
Abstract
본 발명은 연속흐름반응법을 이용한 화합물 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 본 발명은 (i) 인듐 공급원을 사용하여 기판에 인듐을 증착시키는 단계 ; (ii) 구리 공급원 및 황 공급원을 마이크로 믹싱으로 혼합한 후 수욕상에 담구어 혼합물을 준비하는 단계; (iii) 인듐이 증착된 기판 상에 구리 공급원 및 황 공급원 혼합물을 연속흐름반응법(CFR법)을 이용하여 증착시키는 단계; 및 (iv) 증착된 박막을 질소 분위기 하에서 열처리하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 연속흐름반응법을 이용한 화합물 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법에 관한 것이다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21999
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공과대학 > 화학공학부 > Patents
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