태양 전지용 광흡수층 Cu(In, Ga)(Se, S)2 필름 제조를 위한 샘플 트레이 및 상기 샘플 트레이를 이용한 반도체 필름의 제조방법

Title
태양 전지용 광흡수층 Cu(In, Ga)(Se, S)2 필름 제조를 위한 샘플 트레이 및 상기 샘플 트레이를 이용한 반도체 필름의 제조방법
Author(s)
영남대학교 산학협력단구자석김우경
Issue Date
20120120
Abstract
본 발명은 CIS, CIGS, CIGSS 등의 태양전지의 광흡수층 필름의 제조에 관한 기술로서, 본 발명의 샘플트레이를 사용함으로써, 유해한 H2Se, Se 등의 가스의 사용량을 줄이면서도, 빠른 시간 안에 RTP를 통하여 광흡수층 필름을 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21979
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중앙도서관 > rims patents
공과대학 > 화학공학부 > Patents
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