페릴렌 증착 장치 및 증착 방법

Title
페릴렌 증착 장치 및 증착 방법
Author(s)
영남대학교 산학협력단박진호
Issue Date
20110322
Abstract
페릴렌 증착 장치 및 증착 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 페릴렌 증착 장치는 페릴렌 전구체(이량체)가 담겨지는 용기; 상기 용기를 가열시킴으로써, 페릴렌 이량체 증기를 생성시키기 위한 제 1 가열기; 상기 용기와 수직 연결되어, 상기 용기로부터 발생한 상기 페릴렌 이량체 증기를 수직으로 유동시키기 위한 배관; 상기 배관의 단부에 연결된 증착 챔버; 및 상기 배관과 증착 챔버 사이에 구비되며, 상기 페릴렌 증기를 가열시켜 페릴렌 단량체를 형성시키는 제 2 가열기를 포함하는 것을 특징으로 하며, 배관 등에 페릴렌이 증착되는 문제를 효과적으로 방지할 수 있으므로, 페릴렌 증착 공정의 수율을 향상시킬 수 있다. 또한 종래 증착 설비에 비하여 본 발명에 따른 페릴렌 증착 장치는 설치 면적이 상대적으로 작으므로, 공간 활용이 용이하고, 설치 공정 또한 단순하다는 효과를 갖는다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21961
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공과대학 > 화학공학부 > Patents
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