원자간력 현미경용 Z축 스캐너

Title
원자간력 현미경용 Z축 스캐너
Author(s)
영남대학교 산학협력단심재술이동연
Issue Date
20110525
Abstract
본 발명은, 내측에 수용공간이 마련된 바디, 바디의 수용공간에 설치되며, 외측부가 바디의 내측에서 일정간격 이격되게 설치되도록 Z축선상과 직각이 되는 절개된 홈과 같은 형상의 이중복합선형 스프링홀이 형성된 Z축 가이드, Z축 가이드의 축선방향에 수직하게 바디 외부에 설치되며, 수평방향으로 하중힘을 발생시키는 압전소자, 바디에 회동가능하게 설치되어, 압전소자로부터 수평방향의 하중힘을 전달받으면 회전하면서, 하중힘의 작용방향을 변환시켜 Z축 가이드로 전달하는 하중방향변환부, Z축 가이드의 축선방향에 연직되게 연결 설치되며, 하 단부에는 시편을 측정하는 탐침이 마련된 캔틸레버를 구비하여, 하중방향변환부에 의해 상하방향으로 움직이는 Z축 가이드의 하중힘을 전달받아 대응되게 상하방향으로 동작되면서 시편을 측정하는 연결대를 포함하는 원자간력 현미경용 Z축 스캐너를 제공한다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21938
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공과대학 > 기계공학부 > Patents
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