스테이지장치

Title
스테이지장치
Author(s)
영남대학교 산학협력단심재술이동연
Issue Date
20111229
Abstract
본 발명은, 베이스, 베이스에 대해 회전가능하게 마련된 제1 및 제2스테이지, 제1스테이지 및 제2스테이지를 연결하는 적어도 하나의 연결힌지, 제2스테이지 및 베이스를 연결하는 적어도 하나의 회전힌지, 제1스테이지 및 베이스 사이에 마련되어 제1스테이지 및 베이스를 가압하며, 제2스테이지의 중심에 대해 대칭을 이루도록 마련된 복수의 엑츄에이터를 포함하는 스테이지장치를 제공한다. 이와 같은, 스테이지장치는, 압전소자를 이용하는 엑츄에이터로부터 가압력을 전달받아 회전하는 제1스테이지의 회전력이 플렉쳐힌지 구조를 가지면서 각각 제1스테이지 및 제2스테이지, 제2스테이지 및 베이스를 연결하는 연결힌지 및 회전힌지에 의해 제1스테이지 내측의 시편이 올려지는 제2스테이지에 전달된다. 따라서, 제2스테이지의 회전 위치오차를 줄일 수 있어 초정밀의 위치제어가 가능하게 된다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21921
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공과대학 > 기계공학부 > Patents
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