상압 플라즈마 발생장치

Title
상압 플라즈마 발생장치
Author(s)
영남대학교 산학협력단이병준
Issue Date
20101214
Abstract
상압 플라즈마 발생장치가 개시된다. 그러한 상압 플라즈마 발생장치는 플라즈마 영역, 1차 가스 영역, 플라즈마 영역에서 생성된 화학종과 반응하기 위한 2차 가스가 충전되는 2차 가스 영역, 1차 가스 영역과 2차 가스 영역을 구획하는 가스 혼합 방지판, 플라즈마 영역과 1차 가스 영역을 구획하며, 1차 가스를 플라즈마 영역으로 공급하기 위한 경로를 제공하는 다공판, 플라즈마 영역으로 공급된 1차 가스에 상기 고주파 전압을 인가하기 위한 전극부, 및 2차 가스를 플라즈마 영역으로 공급하기 위한 2차 가스 공급관을 포함함으로써, 장치 내의 부가적인 구조물들로 인해 반응성 입자가 상실되고, 플라즈마 영역의 벽에 부차적인 반응으로 인한 이물질이 발생함으로써 플라즈마의 성능에 악영향을 미치는 문제점들을 해결하고, 전극들을 가스의 유동 방향과 나란히 배치함으로써 전극의 간격을 일정하게 유지하면서 그 폭을 넓히는 것을 가능하게 하여, 플라즈마의 인텐시티를 증가시킬 수 있고, 플라즈마 처리를 위한 여러가지 반응을 유도하고, 2차 가스의 종류를 다양하게 하거나 유량 또는 농도를 다르게 하여 순차적인 플라즈마 처리를 수행할 수 있다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21911
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공과대학 > 기계공학부 > Patents
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