주사탐침현미경용 스캐너

Title
주사탐침현미경용 스캐너
Author(s)
영남대학교 산학협력단이동연심재술
Issue Date
20120522
Abstract
본 발명은, 베이스, 베이스에 대해 이동가능하게 마련된 가동스테이지, 베이스와 가동스테이지를 연결하는 복수의 플렉쳐힌지, 베이스 및 가동스테이지 사이에 마련되어 베이스 및 가동스테이지를 가압하며, 가동스테이지의 중심에 대해 수평상태로 대칭을 이루도록 마련된 복수의 엑츄에이터를 구비하며, 플렉쳐힌지는 'ㄷ'형상을 가지는 주사탐침현미경용 스캐너를 제공한다.이와 같은, 주사탐침현미경용 스캐너는, 가동스테이지와 베이스를 연결하는 플렉쳐힌지가 'ㄷ'형상을 가짐으로써, 가동스테이지의 X축 및 Y축 방향으로의 변위가 커지게 된다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21824
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공과대학 > 기계공학부 > Patents
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