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dc.contributor.other영남대학교 산학협력단ko
dc.date.accessioned2015-12-16T16:29:55Z-
dc.date.available2015-12-16T16:29:55Z-
dc.date.issued20140918-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21756-
dc.description.abstract본 발명의 목적은 인체에 위해한 H2Se나 가격이 높은 DESe를 사용하지 않고 순수한 셀레늄 증기를 이용한 셀렌화 공정을 효율적으로 수행할 수 있는 태양전지 광흡수층 제조장치를 제공하는 것이다본 발명의 일 관점에 따르면, 챔버; 상기 챔버 내부에 설치되는 스퍼터링 타겟 및 증발기; 및 기판이 상기 챔버 내부에서 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기의 외측에 위치하도록 장착되고, 상기 기판을 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기에 대향되도록 회전이송시킬 수 있는 기판홀더를 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치가 제공된다.-
dc.title태양전지 광흡수층 제조장치-
dc.typePatent-
dc.identifier.registno10-1444188-
dc.date.regist2014-09-18-
dc.identifier.applicationno10-2012-0072777-
dc.date.application2012-07-04-
dc.contributor.creator전찬욱ko
dc.description.claim청구항1. <claim-text>셀레늄을 포함하는 태양전지 광흡수층을 제조하는 태양전지 광흡수층 제조장치로서,<br></br>상기 태양전지 광흡수층 제조장치는,<br></br>챔버;<br></br>상기 챔버 내부에 설치되는 스퍼터링 타겟;<br></br>상기 챔버 내부에 설치되고, 셀레늄 증발물질을 증발시키는 증발기; 및<br></br>기판이 상기 챔버 내부에서 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기의 외측에 위치하도록 장착되고, 상기 기판을 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기에 대향되도록 회전이송시킬 수 있는 기판홀더;<br></br>를 포함하고,<br></br>상기 스퍼터링 타겟은 구리-인듐-갈륨 합금 타겟, 구리-갈륨 합금 타겟, 구리-인듐 합금 타겟, 구리 타겟 및 인듐 타겟 중 어느 하나 이상을 포함하고,<br></br>상기 증발기는 몸체, 제1 격판, 제2 격판, 토출구 및 가이드판을 포함하도록 구성되고,<br></br>상기 몸체 내에 상기 셀레늄 증발물질이 장입되는 공간이 상기 제1격판에 의해 구획되고, 상기 셀레늄 증발물질이 기화되어 형성된 셀레늄 증기가 상기 제1 격판과 상기 제2 격판 사이의 통로를 통해 이동하여 상기 토출구를 통해서 토출되고, 토출된 상기 셀레늄 증기가 상기 몸체의 외측에 마련되는 상기 가이드판에 의해 가이드되어 상기 기판에 도달하는, 태양전지 광흡수층 제조장치.</claim-text> 청구항2. <claim-text>셀레늄을 포함하는 태양전지 광흡수층을 제조하는 태양전지 광흡수층 제조장치로서,<br></br>상기 태양전지 광흡수층 제조장치는,<br></br>기판이 내측에 장착되고, 상기 기판을 회전시킬 수 있는 기판홀딩챔버;<br></br>상기 기판홀딩챔버 내부에서 상기 기판에 대향될 수 있도록 고정되어, 상기 기판홀딩챔버의 회전을 허용하는 스퍼터링 타겟; 및<br></br>상기 기판홀딩챔버 내부에서 상기 기판에 대향될 수 있도록 고정되어, 상기 기판홀딩챔버의 회전을 허용하고, 셀레늄 증발물질을 증발시키는 증발기;<br></br>를 포함하고, <br></br>상기 스퍼터링 타겟은 구리-인듐-갈륨 합금 타겟, 구리-갈륨 합금 타겟, 구리-인듐 합금 타겟, 구리 타겟 및 인듐 타겟 중 어느 하나 이상을 포함하고,<br></br>상기 증발기는 몸체, 제1 격판, 제2 격판, 토출구 및 가이드판을 포함하도록 구성되고,<br></br>상기 몸체 내에 상기 셀레늄 증발물질이 장입되는 공간이 상기 제1격판에 의해 구획되고, 상기 셀레늄 증발물질이 기화되어 형성된 셀레늄 증기가 상기 제1 격판과 상기 제2 격판 사이의 통로를 통해 이동하여 상기 토출구를 통해서 토출되고, 토출된 상기 셀레늄 증기가 상기 몸체의 외측에 마련되는 상기 가이드판에 의해 가이드되어 상기 기판에 도달하는, 태양전지 광흡수층 제조장치.</claim-text> 청구항3. <claim-text>제1항에 있어서, 상기 기판홀더는,<br></br>링 또는 드럼 형상을 가지고, 회전할 수 있도록 설치되는 회전부재;<br></br>상기 회전부재의 내주면에 상기 기판이 장착될 수 있도록 마련되는 장착부; 및<br></br>상기 회전부재를 회전시키는 회전구동부를 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치.</claim-text> 청구항4. <claim-text>제2항에 있어서, 상기 기판홀딩챔버는, <br></br>드럼 형상을 가지고, 회전할 수 있도록 설치되는 회전챔버;<br></br>상기 회전챔버의 내주면에 상기 기판이 장착될 수 있도록 마련되는 장착부; 및<br></br>상기 회전챔버를 회전시키는 회전구동부를 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치.</claim-text> 청구항5. <AmendStatus status="D">삭제</AmendStatus> 청구항6. <claim-text>제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟은 복수 개로 이루어지고, 상기 증발기와 함께 타겟홀더의 둘레를 따라 이격되도록 설치되는, 태양전지 광흡수층 제조장치.</claim-text> 청구항7. <AmendStatus status="D">삭제</AmendStatus> 청구항8. <claim-text>제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판을 가열할 수 있는 가열기를 더 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치</claim-text> 청구항9. <claim-text>제8항에 있어서, 상기 가열기는 상기 기판이 상기 증발기에 대향될 때 상기 기판을 가열할 수 있도록 설치되는, 태양전지 광흡수층 제조장치.</claim-text> 청구항10. <claim-text>제8항에 있어서, 상기 가열기는 상기 기판이 장착되는 장착부에 설치되는, 태양전지 광흡수층 제조장치.</claim-text> 청구항11. <claim-text>셀레늄을 포함하는 태양전지 광흡수층을 제조하는 태양전지 광흡수층 제조장치로서,<br></br>상기 태양전지 광흡수층 제조장치는,<br></br>챔버;<br></br>상기 챔버 내부에 설치되는 스퍼터링 타겟;<br></br>상기 챔버 내부에 설치되고, 셀레늄 증발물질을 증발시키는 증발기; 및<br></br>기판이 상기 챔버 내부에서 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기의 외측에 위치하도록 장착되고, 상기 기판을 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기에 대향되도록 회전이송시킬 수 있는 기판홀더;<br></br>를 포함하고, <br></br>상기 스퍼터링 타겟은 구리-인듐-갈륨 합금 타겟, 구리-갈륨 합금 타겟, 구리-인듐 합금 타겟, 구리 타겟 및 인듐 타겟 중 어느 하나 이상을 포함하고,<br></br>상기 증발기에 의하여 증발되는 물질이 상기 기판에 도달하도록, 상기 기판은 상기 증발기의 상측에 위치하는, 태양전지 광흡수층 제조장치.</claim-text> 청구항12. <claim-text>셀레늄을 포함하는 태양전지 광흡수층을 제조하는 태양전지 광흡수층 제조장치로서,<br></br>상기 태양전지 광흡수층 제조장치는,<br></br>기판이 내측에 장착되고, 상기 기판을 회전시킬 수 있는 기판홀딩챔버;<br></br>상기 기판홀딩챔버 내부에서 상기 기판에 대향될 수 있도록 고정되어, 상기 기판홀딩챔버의 회전을 허용하는 스퍼터링 타겟; 및<br></br>상기 기판홀딩챔버 내부에서 상기 기판에 대향될 수 있도록 고정되어, 상기 기판홀딩챔버의 회전을 허용하고, 셀레늄 증발물질을 증발시키는 증발기;<br></br>를 포함하고, <br></br>상기 스퍼터링 타겟은 구리-인듐-갈륨 합금 타겟, 구리-갈륨 합금 타겟, 구리-인듐 합금 타겟, 구리 타겟 및 인듐 타겟 중 어느 하나 이상을 포함하고,<br></br>상기 증발기에 의하여 증발되는 물질이 상기 기판에 도달하도록, 상기 기판은 상기 증발기의 상측에 위치하는, 태양전지 광흡수층 제조장치.</claim-text>-
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