태양전지 광흡수층 제조장치

Title
태양전지 광흡수층 제조장치
Author(s)
영남대학교 산학협력단전찬욱
Issue Date
20140918
Abstract
본 발명의 목적은 인체에 위해한 H2Se나 가격이 높은 DESe를 사용하지 않고 순수한 셀레늄 증기를 이용한 셀렌화 공정을 효율적으로 수행할 수 있는 태양전지 광흡수층 제조장치를 제공하는 것이다본 발명의 일 관점에 따르면, 챔버; 상기 챔버 내부에 설치되는 스퍼터링 타겟 및 증발기; 및 기판이 상기 챔버 내부에서 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기의 외측에 위치하도록 장착되고, 상기 기판을 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기에 대향되도록 회전이송시킬 수 있는 기판홀더를 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치가 제공된다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21756
Appears in Collections:
공과대학 > 화학공학부 > Patents
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE