플라즈마 원자층 증착법에 의한 전이금속 칼코겐화합물 박막 형성 방법

Title
플라즈마 원자층 증착법에 의한 전이금속 칼코겐화합물 박막 형성 방법
Author(s)
영남대학교 산학협력단김수현
Issue Date
20141117
Abstract
본 발명의 실시 형태에 따른 전이금속 칼코겐화합물 박막 형성 방법은, 챔버 내의 기판으로 전이금속 함유 전구체를 공급하는 단계; 챔버로부터 전이금속 함유 전구체를 퍼지하는 단계; 기판으로 칼코겐 원소를 포함하는 반응 가스를 공급하는 단계; 및 챔버로부터 반응 가스를 퍼지하는 단계를 포함하고, 반응 가스를 공급하는 단계에서 챔버 내부로 플라즈마를 인가한다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21712
Appears in Collections:
공과대학 > 신소재공학부 > Patents
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE