그래핀의 저온 도핑 방법

Title
그래핀의 저온 도핑 방법
Author(s)
영남대학교 산학협력단박일규차승남손정인
Issue Date
20150601
Abstract
본 발명은 다양한 도펀트의 도핑이 가능한 그래핀의 저온 도핑방법을 위하여, 일면 상에 그래핀을 포함하는 기판을 준비하는 단계, 상기 기판과 이격되어 상기 그래핀 상부에, p 타입 도판트, n 타입 도판트 및 전이금속 도판트 중 어느 하나 이상의 도판트를 함유하는 하나 이상의 코팅층이 형성된 도핑용 부재를 배치시키는 단계 및 상기 그래핀과 상기 도핑용 부재를 이격시킨 상태에서 열처리를 수행함으로써 상기 도판트들을 상기 그래핀으로 공급하는 단계를 포함하는, 그래핀의 저온 도핑방법을 제공한다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21558
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공과대학 > 전자공학과 > Patents
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