두 개의 피에조에 의한 미세이송기구

Title
두 개의 피에조에 의한 미세이송기구
Author(s)
영남대학교 산학협력단고태조
Issue Date
20060928
Abstract
본 발명은 두 개의 피에조에 의한 미세이송기구에 관한 것으로서; 상대적인 위치고정용의 클램핑피에조와, 상기 클램핑피에조에 직각하여 탄성힌지로서 연결배치되는 드라이빙피에조를 구비하고, 상기 클램핑피에조의 신장구동에 의한 상대위치고정 시에 드라이빙피에조가 탄성힌지에 대항하여 신축작동하여 상기 클램핑피에조에 대한 상대위치를 가변시켜 변위구동되고, 상기 각각의 피에조에는 구동용의 전기적인 신호가 순차적으로 인가되도록 프로그래밍되는 것을 특징으로 하여; 본 발명에서는 고정밀 분해능을 얻을 수 있으며 이송범위의 제한을 받지 않는 새로운 형태의 메커니즘을 제안하고 초소형, 고정밀 위치 제어를 위해 압전소자 두개의 인장과 수축을 타임 스케줄에 따라 조합한 미세 이송기구를 가짐으로서 유용한 미세 구동기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
URI
http://hdl.handle.net/YU.REPOSITORY/21440
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공과대학 > 기계공학부 > Patents
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