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Issue Date | Title | Author(s) |
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2013-09-10 | 원자층 증착법에 의한 루테늄 박막 형성 방법 및 그를 이용한 루테늄 박막 | 영남대학교 산학협력단; 김수현; 여승민 |
2012-10-26 | 원자층 증착법에 의한 박막 형성 방법, 이를 포함하는 반도체 소자의 배선 및 그 제조 방법 | 영남대학교 산학협력단; 김수현; 천태훈 |
2015-10-05 | 태양전지, 태양전지용 배면전극 및 그 제조방법 | 영남대학교 산학협력단; 김수현; 전찬욱 |
2014-11-17 | 플라즈마 원자층 증착법에 의한 전이금속 칼코겐화합물 박막 형성 방법 | 영남대학교 산학협력단; 김수현 |